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產(chǎn)品技術(shù)

TGA-327 HF高精度痕量氣體分析儀

      TGA-331 HF高精度痕量氣體分析儀是一款專(zhuān)為測量氟化氫(HF)而設計的專(zhuān)業(yè)儀器,采用光腔衰蕩光譜技術(shù)(CRDS),具有很高的靈敏度,其檢測下限可達ppt 級別。不需要現場(chǎng)校準,非常適合連續測量。

      該分析儀內部管路都進(jìn)行了特殊涂層,可以有效的減小氟化氫(HF)分子在管道壁上的吸附,加速測量的響應速度并消除測量偏差。同時(shí)分析儀采用小體積腔設計,能夠進(jìn)一步提升測量速度。
 


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產(chǎn)品特點(diǎn)

      TGA-331 HF高精度痕量氣體分析儀采用的光腔衰蕩光譜(Cavity Ring Down Spectroscopy, CRDS)技術(shù)與離子遷移譜(IMS)和離子色譜傳統技術(shù)相比,具有探測下限低、響應時(shí)間短、無(wú)需耗材等顯著(zhù)優(yōu)勢,該分析儀具有更優(yōu)的長(cháng)期穩定性和低維護性,是半導體行業(yè)AMC連續監測的理想選擇。
(1)ppt 級別的靈敏度、精度以及準確度
(2)免標定,低漂移
(3)響應時(shí)間短
(4)連續監測
(5)無(wú)耗材成本

應用領(lǐng)域

    

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